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MOCVD设备尾气处理装置的过滤器选型

  2022-11-09

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Veeco K465i外延设备滤芯_MOCVD设备过滤器_高温粉尘滤芯_玻纤滤芯   、产品具有过滤精度高、起始压差小、流通能力大、纳污容量大以及使用寿命长的特点。主要性能指标达到进口标准件水准,可直接替代同类进口产品。 

   律特霍尔可生产替代Veeco以及AIXTRON公司MOCVD设备K-465,K465i,E-300 机型的滤芯。 可根据客户要求设计,订做。(调整:尺寸,使用材料,整体构造等)为客户产品打造合适的滤芯,确保各种过滤要求,达到标准的过滤效果。   

     替代Veeco  K465 K465i E300外延设备滤芯 产品说明: 该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯,安装于真空泵前,用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒; 2只/组(粗滤、细滤) 

 组成材料: 1、滤材: 耐高温玻纤滤料 2、支撑材料:双面304#不锈钢金属网 3、骨架:304#不锈钢菱形网 4、密封垫圈:硅发泡橡胶垫片 5、密封胶:硅橡胶 过滤效率: 1、粗滤:100μm=90% 2、细滤:25μm=99.95% 3、透气量:1000L/Sec/㎡ 

 产品特性: 1、采用两级过滤工艺,分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。 2、波纹工艺,有效过滤面积增加,容污能力强,使用周期长。 3、滤料采用玻纤滤料,具耐高温、耐腐蚀,长期使用温度可达250度以上。 4、专用的高精度过滤材料,空隙均匀,过滤精度高,有效保护设备。

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