青岛青岛赛瑞达电子装备股份有限公司创业大赛
2013年10月15日,第二届中国创新创业大赛[青岛赛区]暨“软控杯”首届青岛市创新创业大赛成功落下帷幕。大赛经过初赛、复赛、半决赛层层筛选,从420多家报名参赛项目中决出15家企业和6个团队进入决赛,青岛赛瑞达电子装备股份有限公司参赛的“石墨烯薄膜材料关键设备研发及产业化项目”最终斩获大赛“三等奖”及“最具成长潜力奖”,同时入围中国创新创业大赛全国半决赛。
关键词:扩散炉,PECVD,LPCVD,真空炉,链式炉,合金炉,氢气炉,VGF
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