制造液晶显示器等显示器时,对于无尘室环境的等级要求相对提高。为此,其制造设备必须满足一些特殊需求,例如极低的破片率, 因为玻璃若在传输过程中破碎,空气中的悬浮颗粒将会长时间污染无尘室,而造成生产近乎停滞。Manz提供的解决方案独到之处就在于设备相对低的破片率和高效率的产能。
除了严格地规定无尘式的条件和破片率,若其使用的基板尺寸超过6 m²、最大厚度在0.7mm,势必无法用手动方式处理基板。这也就是为什么您应该选择Manz全自动化系统解决方案的原因, 除了连续式溅镀镀膜系统之自动化取放设备,Manz还有玻璃基板激光切割设备以及全自动检测仪器等自动化解决方案。
Manz的无尘室已通过德国最高无尘室等级验证机构Fraunhofer IPA Institute认证。此外,“AirCushion technology”专利技术,进一步确保传送低破片率。