供应D07-11C耐高压型质量流量控制器/流量计绿色节能网提供专业的节能改造技术与方案。

仪器简介：
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

技术参数：
满量程流量范围（N2）
5SCCM～30SLM
控制范围
2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态）
电磁调节阀（常闭）
准确度
≤10SLM
±1％F.S.
＞10SLM
±2％F.S.
线性
≤10SLM
±0.5～1％F.S.
＞10SLM
±2％F.S.
重复精度
±0.2％F.S.
响应时间
≤4sec
工作温度范围
5～lue="45" unitname="℃">45℃

工作压差

≤10SLM

0.2～0.8MPa

＞10SLM

0.2～0.6MPa

耐压

10MPa

漏气率

1×10-9SCCSHe

密封材料

氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶

接头选择

VCR

1/4”

Swagelok

1/4”、1/8”或φ3、φ6mm

电插头形式

DB15 pin(Male)

抗电磁干扰

CE

重量

lue="1.2" unitname="kg">1.2Kg

主要特点：
★高耐压性
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头，国际标准机械接头
★CE认证，国际兼容

满量程流量范围（N2）		5SCCM～30SLM
控制范围		2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态）		电磁调节阀（常闭）
准确度	≤10SLM	±1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
线性	≤10SLM	±0.5～1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
重复精度		±0.2％F.S.
响应时间		≤4sec
工作温度范围		5～lue="45" unitname="℃">45℃
工作压差	≤10SLM	0.2～0.8MPa
	＞10SLM	0.2～0.6MPa
耐压		10MPa
漏气率		1×10-9SCCSHe
密封材料		氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
接头选择	VCR	1/4”
	Swagelok	1/4”、1/8”或φ3、φ6mm
电插头形式		DB15 pin(Male)
抗电磁干扰		CE
重量		lue="1.2" unitname="kg">1.2Kg

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