Centrotherm，扩散炉进口备件

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Centrotherm，Tempress, SVCS扩散炉进口备件

POCL浆: SiC paddle（2258，2620）

恒温控制器： Temperature-Control System （Fujifilm，Schumacher）

电机：Faulhauber，Tecmotion，Parker，Dunkermotoren，伺服控制器：RDC2，Omron

热电偶： Profile TC（Left，Right），Spike TC（Single，Double）

MFC（Horiba，Brooks），（3L；15L；30L）

TMM5:   cassette-EI 5zones

TMM6:      temperature measuring module 6 channels CAN-bus

CESAR:   MicroBox Siemens PC420/PC427B

REG97：  Temperature-Controller

RDC2：  DC drive module, 2 axes

RDIO 8/24：  digital I/O module 8 In 24 Out for REG97

压差计:     differential pressure sensor 

固态继电器:  solid state relay 125A