无接触式 厚度 电阻率 手动

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硅片要求     规格： 方片125×125mm 、156×156mm
         圆片 3"、4"、5"、6"、8"

测量功能 厚度： 单点及多点厚度
                TTV: 总厚度偏差
           体电阻率： 单点及多点电阻率
                TRV: 总体电阻率偏差

测量指标 厚度 范围： 150-1000μm 
   测量误差:≤±1.0μm
   重复性1σ:≤0.2μm 

  TTV 范围： 0.0-200.0μm
   测量误差：≤±0.50μm
   重复性1σ:≤0.2μm
              电阻率 范围： 0.1-30Ω.cm
   测量误差：≤±3.0%*R
   重复性1σ:≤1.5%*R

设备尺寸  360mm(L)×350mm(W)×500mm(H)