供应PECVD减反膜膜厚及折射率检测设备

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对太阳能电池生产PECVD工艺后所镀氮化硅膜层的膜层厚度进行测试，可给出膜厚分布的MAP图。也可对所镀膜层的光学折射率n值进行测量。
设备有离线和在线检测设备，每秒中一片硅片可测试采样4000个点。