DRF-50 单晶硅生长炉

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DRF50单晶硅生长炉

用途：

主要用于二极管单晶硅棒、硅芯原料棒拉制，多晶硅原料的检测。

主要技术参数

                        DRF-50 

拉制晶体最大直径:　　　　　Ф3″(Ф80mm)  

最大熔料量　　　　　　　　 10Kg (10″坩埚)

主炉室内径　　　　　　　　　850mm        

加热方式　　　　　　　　　 石墨电阻加热  

籽晶拉速　　　　　　　　　　0.2-8mm/min  

籽晶转速　　　　　　　　　　0-30rpm      

坩埚升速　　　　　　　　　　0.02-1mm/min 

冷炉极限真空度　　　　　　　<3pa         

主变压器容量　　　　　　　　80KVA        

外形尺寸(长×宽)　　　    　3900×3000mm 

质量　　　　　　　　　　　　4000Kg