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行业
半导体制造工序（后工序）
氮气清洗关联元件
【树脂阀体型】
1个FSM3能够对应空气，氮气，氩气，二氧化碳和混合气的5种气体。
接头快插式弯管、快插式直管、螺纹旋入式弯管、螺纹旋入式直管的4种可选择。
2通阀可直接连接，能节省空间。可调整流量的针阀于针阀一体型也更能节省空间。
【不锈钢阀体型】
1个FSM3能够对应空气，氮气，氩气，二氧化碳和混合气的5种气体。
氧气专用的禁油规格也有。
JXR接头型，2种双卡套接头型的2种街头和螺纹旋入式的共3种可选择。
【高精度?高响应】
压力损失因再设计流路而比旧型减少最大50%。
流向可选单向（正向和逆向的2种）和双向的3种类。
响应时间：50msec
【IO-link可实现工厂自动化】
IO-link对应。
传送参数和其他活动数据，可预测保全。
适用于检查漏气和空气消耗量。
