LED外延氮气过滤器1231838

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律特霍尔生产替代Veeco以及AIXTRON公司MOCVD设备K-465,K465i,E-300 机型的滤芯。 可根据客户要求设计,订做。(调整:尺寸,使用材料,整体构造等)为客户产品打造合适的滤芯,确保各种过滤要求,达到优秀过滤效果。

Veeco  K465 K465i E300外延设备滤芯

产品说明:

该产品系我司针对Veeco K465i设备设计生产的滤芯,安装于真空泵前,用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒;

2只/组(粗滤、细滤)

组成材料:

1、滤材: 耐高温玻纤滤料

2、支撑材料:双面304#不锈钢金属网

3、骨架:304#不锈钢菱形网

4、密封垫圈:硅发泡橡胶垫片

5、密封胶:硅橡胶

规格:

1、端盖:φ360、304#不锈钢

2、耐高温密封垫:φ340*φ265*T5

3、折数:一级(100μm):118折, 折高65mm;二级(25μm):88折,折高65mm

过滤效率:

1、粗滤:100μm=90%

2、细滤:25μm=99.95%

3、透气量:1000L/Sec/㎡

产品特性:

1、采用两级过滤工艺,分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。

2、波纹工艺,有效过滤面积增加,容污能力强,使用周期长。

3、滤料采用玻纤滤料,具耐高温、耐腐蚀,长期使用温度可达250度以上。

4、专用的高精度过滤材料,空隙均匀,过滤精度高,有效保护设备。

我司长期供应K465i一级二级过滤器滤芯,无尘室初,中,高效过滤器产品质量稳定,能与原厂滤芯相媲美,已经通过国内知名大型光电科技公司使用,