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光伏晶片 由0.2 mm厚的单晶或者多晶硅的吸光(晶片)制成的太阳能电池是基于晶体硅的光伏组件的核心。晶片的前电极或背电极根据不同的电池技术,需要镀上不同的钝化薄膜和减反射薄膜(氧化硅、氮化硅、氧化铝等)。导电层是由丝网印刷工艺制成金属网格。新型高效电池还需要在前电极镀上TCO薄膜或者在背电极整面镀上金属膜。
铝层的蒸发是应用了冯阿登纳多年来研发的电子束技术,它使得金属化可以在高精度和低成本下运作。冯阿登纳提供基于晶体硅的光伏电池产品的薄膜沉积的不同解决方案。金属化/通过电子束蒸发的高效沉积薄膜溅射金属层的金属化透明导电氧化物溅射沉积生成钝化和防反射涂层的溅射更多适用沉积的设备平台:PIA|nova®晶圆金属化晶圆钝化研发与试验设备