| ZL850型多晶硅铸锭炉技术指标 | |
| 硅锭尺寸 | 996mm×996mm×370mm |
| 生产率 | 750kg~850kg/炉 |
| 生产周期 | 800kg锭~74hr,产能~9.5MW/年 |
| 最高温度 | 1600℃ |
| 常用工作温度 | 1560℃ |
| 硅锭生长速率 | 1.0-1.2cm/hr |
| 炉内极限真空度 | 1Pa |
| 系统漏率 | <0.0075Pa.m3/s |
| 氩气 | ~140m3/锭 |
| 冷却水 | 约140L/min |
| 额定加热功率 | 165kW |
| 每炉加热器功耗 | ~4400度(投料800kg) |
| 其他能耗 | ~650度 |
| 单位能耗 | ~6.8度/kg |
| 铸锭良率 | 平均大于70%(正常配料) |
| 转换效率 | 17.0%-17.2% |
| 准单晶生产能力 | 具备 |
| 高效多晶生产能力 | 具备 |
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