| ZL1200型多晶硅铸锭炉技术指标 | |
| 硅锭尺寸 | 996mm×996mm×535mm |
| 生产率 | 1000kg~1200kg/炉 |
| 生产周期 | 1000kg锭~80hr,产能~11.5MW/年 |
| 最高温度 | 1600℃ |
| 常用工作温度 | 1560℃ |
| 硅锭生长速率 | 1.0-1.2cm/hr |
| 炉内极限真空度 | 1Pa |
| 系统漏率 | <0.0075Pa. m3 /s |
| 氩气 | ~160 m3 /锭 |
| 冷却水 | 约140L/min |
| 控温点数量 | 顶部、侧面分区控温(2个控温点) |
| 额定加热功率 | 200kW |
| 每炉加热器功耗 | ~5000度(投料1000kg) |
| 长晶控制辅助 | 气冷辅助成核装置(选配) |
| 其他能耗 | ~800度 |
| 单位能耗 | ~5.8度/kg |
| 铸锭良率 | 平均大于72%(正常配料) |
| 转换效率 | 17.0%-17.2% |
| 准单晶生产能力 | 具备 |
| 高效多晶生产能力 | 具备 |
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