热解氮化硼加热器

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产品特点       使用CVD法制造的高纯度的产品。PBN和PG对腐蚀性气体具有惰性，因为是高纯度，所以在高温下释放出的气体很少，能很好的应对热冲击，在特定情况下可以在1500℃以上的环境中使用。PG是进行面加热因而加热快，PBN的热传导性很好，所以加热面有很好的均热特性。产品应用       半导体材料制造设备中的加热器，防止不纯物的产生，以提高纯度。