石墨舟自动装卸片机

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一、设备用途：本设备主要用于晶体硅太阳电池制造中与管式PECVD配套对硅片进行装卸。即将硅片从料盒中自动装载至石墨舟中，同时将石墨舟中已经完成工艺处理的硅片自动装载至料盒中。二、技术特点：1、国内首创非机械手式全新技术方案。2、较机械手式自动插片机更明显的性价比优势。3、核心部件都是自主开发，大大降低客户维护成本。4、兼容性好：与市场现有PECVD设备所配小车能兼容，最大限度降低客户使用成本。
三、技术指标：

产品种类	WIL（在线式）	WOL（离线式）
型号	FWT-IL	FWT-OL-A
适用硅片	125mm/156mm（单、多晶）	125mm/156mm（单、多晶）
碎片率	<0.1%	<0.1%
产能	1800 pcs/h	3000 pcs/h(12舟/小时)
硅片厚度	130~240um	130~240um
尺寸（L/W/H）	3710mmX2000mmX2345mm	3710mmX2000mmX2345mm
UP-TIME	＞97%	＞97%