设备型号:MC-200
设备用途:主要用于LED芯片制造工序之外延片退火、TCL退火金属电极合金等
工艺流程:升温→通氮气→稳定温度→石英舟及晶圆准备、装片→进舟→退火合金→退货完成、出舟→冷却→卸片
技术特点:
●3点内热偶控温(串级温度控制为可选型)
●全自动悬臂推拉系统、自动进出料
●紧凑的造型设计
●触摸屏全自动控制
●温度快速恢复功能
●双温区炉体
产地:广东 | 归属行业:光伏生产设备
品牌:捷佳伟创/S.C
有效期至:长期有效
设备用途:主要用于LED芯片制造工序之外延片退火、TCL退火金属电极合金等
工艺流程:升温→通氮气→稳定温度→石英舟及晶圆准备、装片→进舟→退火合金→退货完成、出舟→冷却→卸片
技术特点:
●3点内热偶控温(串级温度控制为可选型)
●全自动悬臂推拉系统、自动进出料
●紧凑的造型设计
●触摸屏全自动控制
●温度快速恢复功能
●双温区炉体