等离子体刻蚀机

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技术特点：

●有效的真空检测装置安装方法，保证真空准确性，同时可延长其清理校准周期。

●先进的控制方式和独特的软件，保证工艺过程的准确性、生产的稳定性和操作的简便。

●有效的反应气体处理装置，延长换泵油时间，延长泵使用寿命，降低使用成本。

●比国内设备同行更成熟可靠的刻蚀工艺，确保刻蚀效果得到提升，直接提升产品品质。

●人性化的机器外形设计，和触摸屏人机对话方式，更便于操作、维护、保养。

●配置进口压力传感器（薄膜规），采用独特的安装方式，有效防止粉尘粘附，提高抗干扰能力，消除零飘。

●优化设计的线圈固定装置，线圈与石英管距离一致，并且确保线圈无脱落。

●独特的辉光中断报警功能。避免由于设备故障产生刻蚀不净的电池片下传。