槽式SE刻蚀设备

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工艺流程：上料→去PSG→纯水漂洗→酸处理→纯水清洗→纯水隔离→碱洗→超声清洗→纯水隔离→SC-2处理→纯水清洗→HF处理→纯水漂洗→预脱水→烘干→下料（全自动化流程控制）

技术特点：

●高均匀性：

 A、独特酸处理主、副槽连体结构使循环速度大大提高，冷却时间更短，使槽内药液均匀性及温度更加均匀，杜绝了药液渗漏的可能性。

 B、独特的三点温控系统，保证槽内的药液的温度，精度控制在±1℃。

●独特的超声波液位仪在线反映液面高度，保证配液精度；独特的纯水隔离系统，使不同药液段完全隔离，提高了对硅片的加工质量；独特的四边溢流槽体结构，既保证了清洗效果又节约水；独特的超声脱气装置，在相同功率下清洗效果增加1倍；独特的烘干系统，保证了烘干效果的同时也杜绝了设备着火的可能性；独特的双层槽体结构，杜绝了药液渗漏的可能性。

●稳定的高速机械手，提升能力达到50KG，长时间运行平稳无故障，保证产能提高及降低破片率。

●先进的逐级、多级溢流系统，既保证了清洗效果又节约水。

●精确的自动补液系统可以根据实际需要进行定量补液，达到 50ML的补液量仅误差±1ML。

●全新的预脱水结构将水蒸气从硅片表面剥离，更好的保证烘干效果。

●全套的防压篮系统保证长时间运行，避免压篮事故。