全自动超声波硅片清洗设备

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工艺流程：上料→超声波水洗→超声波水洗→超声波碱洗→超声波碱洗→超声波漂洗→超声波漂洗→预脱水→隧道烘干→下料

技术特点：

●更安全的无接触酸碱现场管理系统。

●更完善的全自动烘干技术。

●更优化的清洗流程，实现理想的清洗效果。

●独特的去除切割损伤层功能，提高硅片表面质量。