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设备用途：主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的掺杂形成PN结
工艺流程：石英舟及硅片准备→插片→上料→选择工艺运行→进舟→升温稳定→通氧→通源→推进→恒温→出舟→下舟冷却→测试→卸片
技术特点：
●工艺舟软着陆
●精确温度控制系统
●闭管扩散
●全数字化控制系统
●数字式MFC精确控制气体流量
●隔热和密封的炉门系统
●防污染的尾部废气处理系统
●紧凑的造型设计
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DS-300型管式高温扩散炉
- 面议
- 支持批量采购
- 发布时间：2016-07-09 09:02
产地：广东 | 归属行业：光伏生产设备
品牌：捷佳伟创/S.C
有效期至：长期有效
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